|
它具有最新开发的电子光学系统,具有更多的自动化功能,最主要的是具有自动合轴功能,这是其他同类电镜所不具备的功能。包括自动束流设定,自动轴向合轴等。还具有在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率、能实时显示两个图像、实时全屏显示图像等特点。 一、样本前处理:
1、打开UPS电源(见UPS操作规程)。 2、用钥匙打开扫描电镜开关,由OFF档拧至START档,钥匙自动弹至ON档,电脑开启自动进入工作站,仪器自动抽真空。 3、机身EVAC指示灯闪亮说明真空要求未达到、N-MODE闪指样品室存有空气、PUMP闪说明分子泵正在启动。 4、待到EVAC灯亮则不闪,N-MODE灯熄灭,PUMP灯亮则不闪,说明真空度要求已达到。 5、检查样品操作杆T、Z、X、Y的位置调致与规定位置相吻合(T-0、Z-35、X-30、Y-20) 6、长按机身AIR键,样品室泄压,待仪器发出三声滴声后,泄压完毕。 7、把样品(如需喷金,操作见离子溅射)牢固的固定于样品座上,测量样品的高度比高度尺矮 8、戴上手套,把样品门轻轻地完全拉出,将量好高度的样品,小心完全的放于移动平台的孔中。 9、旋转Z轴使样品台升到最高位置,观察样品台高度是否低于保护尺高度,若高出保护尺,应拉出样品台,检查以上操作步骤是否正确,应按其以上规定操作,否则将出现严重后果。 10、轻关样品门,用手轻扶,按机身EVAC键,仪器抽真空。 11、真空要求达到后,双击工作站中的VaCC黑色区域,弹出对话框,设定加速电压、工作距离、探针电流,工作距离应与Z值相对应。 12、调节X、Y轴找到感兴趣的区域,调节操作台上MAGNIFICAT/ON选择适当的放大倍数并调节COARSE及FINE旋钮对样品聚焦,调节STIGMA-----ALIGNMENT消像散,以上均属机械式粗调。 13、点击工作站中Align键,弹出对话框,选择Aperture Align光阑对中,调节STIGMA/ALIGNMENT多功能按钮至图像不动,选择Stigma Align .X,为X方向消像散、选择Stigma Align .Y为Y方向消像散,也是通过多功能按钮,调至图像以同心圆跳动,以上操作均在5000倍以上进行,调好后,点击OFF键,关闭此对话框。 14、选择Red 1模式下对图像进行在聚焦,调至满意的图像后点击1280,拍照片,存到电脑中,拍照完毕。 15、双击VaCC黑色区域点击OFF键关高压,调节T、Z、X、Y旋钮按规定归位。 16、按 Air键样品室泄压,听到三声“嘀”声后,小心地打开样品门,取出样品,关闭样品门后按机身EVAC键,仪器抽真空。 17、真空抽好后,把钥匙从ON档拧至OFF档,仪器关闭。 18、关闭电镜空开。 19、关闭UPS。
|