扫描电镜操作流程：

1、用钥匙打开扫描电镜开关，由OFF档拧至START档，钥匙自动弹至ON档，电脑开启自动进入工作站，仪器自动抽真空。

2、机身EVAC指示灯闪亮说明真空要求未达到、N-MODE闪指样品室存有空气、PUMP闪说明分子泵正在启动。

3、待到EVAC灯亮则不闪，N-MODE灯熄灭，PUMP灯亮则不闪，说明真空度要求已达到。

4、检查样品操作杆T、Z、X、Y的位置调致与规定位置相吻合（T-0、Z-35、X-30、Y-20）

5、长按机身AIR键，样品室泄压，待仪器发出三声滴声后，泄压完毕。

6、把样品（如需喷金，操作见离子溅射）牢固的固定于样品座上，测量样品的高度比高度尺矮2mm。

7、戴上手套，把样品门轻轻地完全拉出，将量好高度的样品，小心完全的放于移动平台的孔中。

8、旋转Z轴使样品台升到最高位置，观察样品台高度是否低于保护尺高度，若高出保护尺，应拉出样品台，检查以上操作步骤是否正确，应按其以上规定操作，否则将出现严重后果。

9、轻关样品门，用手轻扶，按机身EVAC键，仪器抽真空。

10、真空要求达到后，双击工作站中的VaCC黑色区域，弹出对话框，设定加速电压、工作距离、探针电流，工作距离应与Z值相对应。

11、调节X、Y轴找到感兴趣的区域，调节操作台上MAGNIFICAT/ON选择适当的放大倍数并调节COARSE及FINE旋钮对样品聚焦，调节STIGMA-----ALIGNMENT消像散，以上均属机械式粗调。

12、点击工作站中Align键，弹出对话框，选择Aperture Align光阑对中，调节STIGMA/ALIGNMENT多功能按钮至图像不动，选择Stigma Align .X,为X方向消像散、选择Stigma Align .Y为Y方向消像散，也是通过多功能按钮，调至图像以同心圆跳动，以上操作均在5000倍以上进行，调好后，点击OFF键，关闭此对话框。

13、选择Red 1模式下对图像进行在聚焦，调至满意的图像后点击1280，拍照片，存到电脑中，拍照完毕。

14、双击VaCC黑色区域点击OFF键关高压，调节T、Z、X、Y旋钮按规定归位。

15、按 Air键样品室泄压，听到三声“嘀”声后，小心地打开样品门，取出样品，关闭样品门后按机身EVAC键，仪器抽真空。

16、真空抽好后，把钥匙从ON档拧至OFF档，仪器关闭。

17、关闭电镜空开。